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SE-VE光谱椭偏仪
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SE-VE光谱椭偏仪

SE-VE光谱椭偏仪基于单旋转补偿器调制技术一次性获取Psi/Delta、N/C/S、反射率等光谱，可实现基底上单层到多层薄膜的膜厚、光学常数的快速分析表征
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